Чувствительные элементы

Чувствительный элемент датчика давления Тензорезистивный ЭДС-1.

Применение: преобразование избыточного, абсолютного и дифференциального давления в электрический сигнал.

Назначение: конструктивный элемент чувствительного элемента давления.

— Чувствительный элемент абсолютного давления ЭДС-01.

— Чувствительный элемент избыточного и дифференциального давления ЭДС-02,

Описание: Чувствительный элемент давления тензорезистивный представляет собой сборку, состоящую из тензочувствительного кристалла интегрального преобразователя давления (тензомодуля) и стеклянного основания. Соединение элементов в конструкции чувствительного элемента давления выполнено электростатической анодной сваркой.

Тензомодуль выполнен в виде кристалла размером 4х4 мм и толщиной 430 мкм с мембраной размером 2х2 мм и концентратором в центре мембраны. Два тензорезистора расположены на границе периферии кристалла – мембрана, а два других – на границе концентратор – мембрана. Все тензорезисторы идентичны по геометрии и расположены параллельно границе мембраны. Резисторы объединены в мостовую схему Уитстона алюминиевыми дорожками с одной разорванной диагональю (для настройки начального разбаланса моста).


ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Диапазон измеряемых давлений Рном, МПа 0,1; 0,16; 0,25; 0,4; 0,63; 1,0; 1,6; 2,5-10.0
Перегрузочное давление, МПа >10 Рном
Напряжение питания, В 5,0
Номинальный выходной сигнал, мВ 0…400
Диапазон рабочих температур, °С -60…+125
Начальный разбаланс моста, мВ ±10
Основная погрешность, % 0,5, 1.0, 2.0


Выходные характеристики чувствительного элемента давления повторяют выходные характеристики кристалла ИПД. Конструкция обеспечивает сохранение точностных параметров ИПД при установке чувствительного элемента давления в корпус датчика. Возможна поставка в корпусе КЮЯЛ431433.023.

Начальник УРиПДД
ЗАО «Группа Кремний ЭЛ»
Гуйвик Андрей Николаевич
8 (962) 142-13-36
8 (4832) 41-90-09
andrey.ni88@yandex.ru