КСДИ-100
Кремниевые структуры
Характеристики
| Обозначение | КСДИ-100 |
| Примечание | Серийное производство |
| Напр.пробоя, В | < 4000 |
| Диаметр пласт., мм | 100 |
| Прогиб поверхн., мкм | 10 |
| Толщина раб.слоя, мкм | (5 - 100) ± 3 ("карман") |
| Толщина изолятора, мкм | < 0,5 (SiO2) |
| Тип проводимости | n или p ("карман") |
| Рельеф поверхности, мкм | > 0,5 (poly-Si, SiO2, mono-Si) |